山形大学
有機エレクトロニクスイノベーションセンター
硯里研究室
学会発表
【学会発表】硯里教授が日本セラミック協会秋季シンポジウムで発表
日本セラミック協会 第38回秋季シンポジウムにて、硯里教授が発表しました。
日本セラミック協会 第38回秋季シンポジウム
2025年9月17日（水）～19日（金）群馬大学（荒牧キャンパス）
The Ceramic Society of Japan, The 38th Fall Meeting
September 17-19, 2025, Gunma University
2025.09.19 14:40-15:00
3L18
ポリシラザンへの高強度VUV光照射により得られた SiNx膜の水蒸気バリア性能
Water vapor barrier performance of SiNx films obtained from polysilazane by high-intensity VUV irradiation
山形大 孫 鶴・宋 侣洋・〇硯里 善幸
Yamagata Univ.
SUN, He; SONG, Luyang; SUZURI, Yoshiyuki
