2025.09.04 9:40～10:00 1D03 ポリシラザンへのVUV光照射により得られる光緻密化SiNx薄膜とそれを用いた水蒸気ハイバリアフィルム Photodensified SiNx thin films obtained from polysilazane by VUV light irradiation, and high moisture barrier films using these films 山形大 孫 鶴・宋 侣洋・〇硯里 善幸 Yamagata Univ. SUN, He; SONG, Luyang; SUZURI, Yoshiyuki
